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Diener等離子清洗機Tetra100 等離子系統可以組合成不同功能的機型，例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Tetra100 等離子系統組合使用的常見選裝件的概覽：Tetra100 等離子系統主要應用于以下領域： 分析、 考古、汽車、研究和開發部門、半導體技術、小批量生產、塑料技術、微系統技術、傳感技術、紡織技術等。基本裝備：根據具體組件/選裝件，外殼規格會有所不同。腔室容積：根據具體版本 100 升。供電電源：立式設備為 400 V/3 相位、氣體供給、針型閥、質量流量控制器 (MFC)。真空腔室：矩形，鋁，帶鉸鏈的門，（寬：400 mm，深：625 mm，高：400 mm）。裝載件：產品支架（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃。電極：單層或多層、RIE。控制系統：PCCE 控制系統 (Microsoft Windows CE)。PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)。壓力測量：Pirani/電容式壓力計。計時器：數字式。發生器：80 kHz：功率 1000 W。13.56 MHz：功率 0 - 600 W；0 - 1000 W。2.45 GHz：功率 0 - 850 W。所有發生器均為0 - 100.% 無級可調型。 其它選項：備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項。Diener等離子清洗機