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德國(guó)Diener聚對(duì)二甲苯（Parylene)涂層設(shè)備P300聚對(duì)二甲苯 P300，聚對(duì)二甲苯涂覆設(shè)備。聚對(duì)二甲苯是聚對(duì)二甲苯 聚合物基團(tuán)的 簡(jiǎn)稱。聚合物由被不同物質(zhì)取代的對(duì)二甲苯組成。 涂層 的 基礎(chǔ) 是 二聚體。這是由兩個(gè)相同的 亞基，即所謂的單體組成的 分子復(fù)合物。聚對(duì)二甲苯涂層 具有非常多的 優(yōu)點(diǎn)。聚對(duì)二甲苯 …合規(guī)：即也適用于復(fù)雜的基材輪廓，例如鋒利的邊緣、鉆孔或盲孔。從層厚度約為 0.5 μm 時(shí)起已經(jīng) 無(wú)針孔? (“pinhole-free”)?；瘜W(xué)不可溶 并且耐抗諸多化學(xué)物質(zhì)。對(duì)濕氣和化學(xué)物質(zhì)具有 非常好的阻隔特性。具有較高的介電擊穿強(qiáng)度。具有干潤(rùn)滑特性（較低的 摩擦系數(shù)）。具有疏水性：H2O 的接觸角 介于 92 ° 和 98 ° 之間。在可見波長(zhǎng)范圍 內(nèi)（取決于類型）的 90％ 到 96％ 之間是透明的。具有生物相容性：可以沉積 C 和 N 型聚對(duì)二甲苯，可以根據(jù) USP Class VI、ISO 10993 和 FDA 進(jìn)行認(rèn)證。沉積材料:Parylene N, C, D, F-VT4。乘積厚度范圍: 50 nm-20 mm。設(shè)備尺寸: 寬: 約2700 mm 深: 約2200 mm 高: 約1600 mm。裂解管: 4kW / 高 850 °C。真空沉積室: 直徑: 700 mm 高: 720 mm。轉(zhuǎn)動(dòng)載物架: 直徑: 600mm 高: 600mm。冷阱: 液氮或機(jī)械式冷阱。真空系統(tǒng):雙級(jí)旋片泵或干泵。抽速: 65m3/h 或干泵1800m3/h。真空壓力: 1 x 10-3 mbar?？刂? 基于 Windows 的全PC 控制系統(tǒng)。電氣連接: 230 V/16 A/50-60 Hz。壓縮空氣: 6 bar 無(wú)油干燥。德國(guó)Diener聚對(duì)二甲苯（Parylene)涂層設(shè)備P300