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伺服式振動(dòng)傳感器傳感器的特點(diǎn)包括：微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化，它不僅促進(jìn)了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造和更新?lián)Q代，而且還可能建立新型工業(yè)，從而成為21世紀(jì)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)基礎(chǔ)上的，已成功應(yīng)用在硅器件上做成硅壓力傳感器。 拾振器可與放大器配合使用。放大器的放大倍數(shù)由“參數(shù)”和“放大”兩個(gè)檔位決定，“參數(shù)”有 4 個(gè)檔位，“放大”有 10 個(gè)檔位，兩個(gè)檔位的交叉組合決定了放大器的放大倍數(shù)，如表 1所示。 放大倍數(shù) K： “參數(shù)”置于 1 時(shí)，K=10～5000，直通，用于加速度或速度測(cè)量； “參數(shù)”置于 2 時(shí)，K=1～500；直通，用于加速度或速度測(cè)量； “參數(shù)”置于 3 時(shí)，K=5～2000；KI1=20，積分，用于位移測(cè)量； “參數(shù)”置于 4 時(shí)，K=1～500；KI2=4，積分，用于位移測(cè)量； 其中 KI1 及 KI2 為積分增益。 輸入阻抗（KΩ ）：≥1000 輸出負(fù)荷（KΩ ）：≥1 輸入噪聲（μ v）：直流供電時(shí)≤1；交流供電時(shí)≤10伺服式振動(dòng)傳感器